中國江蘇網4月11日訊(通訊員 孔明 記者 袁濤)記者今天從西交利物浦大學瞭解到,該校電子與電氣工程系微納製造實驗室已於近日啟動,可製造和分析厚度尺寸在0.5納米內的薄膜材料,實驗室面向該校本科生開放。
  據瞭解,微納製造實驗室得到了蘇州市工業園區政府和西交利物浦大學的共同資助和支持,主要用於微米和納米製造技術、半導體器件、先進電子材料和超大規模集成電路等領域的科學研究和教學。該實驗室包括一個200平方米的潔凈室和一個160平方米的測試室,其潔凈室包含一個千級光刻間和一個萬級製造間。實驗室配備了諸如原子層沉積(ALD)和半導體器件參數分析儀(B1500A)等先進的儀器設備,可以製造和分析厚度尺寸在0.5納米內的薄膜材料。
  納米薄膜可以改善一些機械零部件的錶面性能,以減少振動,降低噪聲,減小摩擦,延長壽命。這些薄膜在刀具、微機械、微電子領域作為耐磨、耐腐蝕塗層及其它功能塗層獲得重要應用。目前,科研人員已從單一材料的納米薄膜轉向納米複合薄膜的研究,薄膜的厚度也由數微米發展到數納米的超薄膜。
  微納製造實驗室負責人、電子與電氣工程系趙策洲教授介紹,微納製造實驗室通常運用於教師或碩博研究生的科研攻關,但是西交利物浦大學將其開放給本科生,集中用於他們的課程實驗和畢業設計,這在國內外大學均屬罕見。  (原標題:西浦微納製造實驗室啟用 可造0.5納米內薄膜)
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